صنعت نیمهرسانا به اجزایی نیاز دارد که قادر به کار با دقت، تمیزی و پایداری طولانیمدت در شرایط فزایندهای باشند. حلقه لغزنده شفت توخالی JINPAT LPT به طور خاص برای این چالشها توسعه یافته است و انتقال چرخشی قابل اعتمادی را در محیطهای با دمای بالا و خلاء بالا که معمولاً در تجهیزات پردازش نیمهرسانا پیشرفته یافت میشود، ارائه میدهد. با طراحیای که دوام، کنترل آلودگی و عملکرد الکتریکی را در اولویت قرار میدهد، سری LPT از تولیدکنندگان جهانی نیمهرسانا در حفظ کیفیت تولید ثابت پشتیبانی میکند.
محفظه فولادی ضد زنگ حلقه لغزنده، ساخته شده از SUS304، مقاومت بالایی در برابر تنش حرارتی و تغییر شکل مکانیکی ایجاد میکند. در داخل واحد، حلقههای رسانای آلیاژی با دمای بالا و کنتاکتهای کامپوزیت فلزات گرانبها، انتقال پایدار سیگنال و توان را حتی در طول عملیات طولانیمدت بالای 200 درجه سانتیگراد تضمین میکنند. ساختار داخلی برای مدیریت حرارتی کارآمد مهندسی شده است، انبساط را به حداقل میرساند و نویز الکتریکی کم را در طول چرخه تولید حفظ میکند.
سازگاری با خلاء یکی دیگر از ویژگیهای تعیینکننده سری LPT است. فرآیندهای نیمهرسانا به محیطهای خلاء با کنترل دقیق متکی هستند که در آن آلودگی باید تقریباً به صفر کاهش یابد. برای برآورده کردن این استانداردها، حلقه لغزنده یک طراحی خشک و بدون روغنکاری را در خود جای داده است و امکان انتشار بخار روغن را از بین میبرد. سیستم آببندی چند مرحلهای و مواد کمخروجی آن، هوابندی عالی را حفظ میکنند. علاوه بر این، طراحی بدون یون مس از آلودگی فلزات جلوگیری میکند—یک مزیت حیاتی در تولید ویفر و سایر فرآیندهای حساس.
حلقه لغزنده شفت توخالی LPT در حال حاضر در طیف گستردهای از تجهیزات تولید نیمهرسانا با موفقیت مورد استفاده قرار میگیرد. ترکیب مقاومت حرارتی، پایداری مکانیکی و تمیزی خلاء آن، باعث شده است که در میان تولیدکنندگان تجهیزات که به دنبال راهحلهای انتقال قابل اعتماد و طولانیمدت هستند، شناخته شود. چه در سیستمهای جابجایی ویفر، ماژولهای بازرسی یا دستگاههای چرخشی خلاء ادغام شود، سری LPT به بهبود پایداری عملیاتی و قابلیت اطمینان فرآیند کمک میکند.
همانطور که فناوریهای نیمهرسانا به پیشرفت خود ادامه میدهند، تقاضا برای تجهیزات تنها سختتر خواهد شد. JINPAT متعهد به حمایت از تولیدکنندگان جهانی با توسعه راهحلهای حلقه لغزنده با عملکرد بالا است که بر اساس مواد پیشرفته، مهندسی دقیق و استانداردهای سختگیرانه کنترل آلودگی ساخته شدهاند. سری LPT نشاندهنده این تعهد است و یک رابط چرخشی قوی و قابل اعتماد را ارائه میدهد که برای پاسخگویی به نیازهای در حال تحول صنعت نیمهرسانا در سراسر جهان طراحی شده است.